蓝宝石热场用钨钼件

    蓝宝石热场简介

    近年来，随着LED的广泛应用，LED的衬底材料蓝宝石片的需求量从2010年开始呈井喷式增长。因为蓝宝石的长晶温度达到2200℃以上，长晶过程对温度的稳定性和热场的环境要求非常高，所以具有高熔点和在高温下性能稳定污染低特点的钨钼材料在蓝宝石长晶炉中得到了广泛的应用，长晶炉中的长晶坩埚、发热体、保温桶、隔热屏、热场盖板、籽晶触头、绑线等均是用钨钼材料或钨钼合金材料制造。

                                                     

    图二 、蓝宝石生产车间

                                               

图一、蓝宝石                                                                                        图三、 泡生法蓝宝石热场示意图        

    人工生产蓝宝石已有100多年的历史，目前主要的蓝宝石生长技术有焰熔法、提拉法、导模法、坩埚下降法、热交换法、温度梯度法、泡生法等（见表1）。而泡生法工艺生长的蓝宝石晶体约为目前市场份额的70%。

                                   表1 生长工艺技术对比

主要生长技术	优点	缺点	应用
泡生法（Kyropoulos）	高品质（光学等级），低缺陷密度，大尺寸，高产能，成本相对较低	操作复杂，一致性不高，成品率较低。不易生长C轴晶体。	全球用于LED衬底的蓝宝石基板70%以上为泡生法或各种改良型泡生法生长。美国Rubicon、俄罗斯Monocrystal、韩国Astek、台湾越峰
柴式法 (Czochralski)	生长情形易于观察，尺寸容易控制，晶体外形相对规整	缺陷密度大；需使用铱金坩埚，成本较高；尺寸易受限	加拿大Honeywell（2008年被中国四联集团收购），法国Saint-Gobain。日本蓝宝石企业。
导模法 EFG	品质佳	大尺寸晶向调整困难	日本并木Namiki 日本京瓷Kyocera
温度梯度法（TGT）	设备简单、操作方便，无机械扰动、界面稳定、成品率高，可生长C轴晶体	晶体无转动，温场不易均匀；晶体需后续退火处理，周期长、成本高；坩埚强制作用显著	中国科学院上海光学精密机械研究所光电材料事业部，深圳爱彼斯通
坩埚下降法	设备简单，成品率高。	晶体缺陷密度较大	云南蓝晶已批量生产，但价格约为泡生法晶片的一半左右
垂直水平温梯法 （VHGF）	晶体大小（直径和高度）与形状相对不受限制	专利掌握于韩国STC手中	韩国（STC）
热交换法 （HEM）	晶体直径大，高品质	晶体短、设备、工艺要求复杂，成本高、工艺要求高，主要难题是晶体容易开裂	美国Crystal System(2010年7月被美国GT-Solar收购)，国内已开始涉足。
冷心放肩微量提拉法（SAPMAC）	晶体完整性好；可实现原味退火，周期短、成本低	易受到温度波动的影响；不以生长C轴晶体	哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司

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推荐产品：1、钨坩埚              2、钨发热体             3、钨保温桶              4、钼隔热屏    

                    5、上盖板              6、下盖板                7、钼支架                  8、钨籽晶头

                    9、钨铼绑线         10、铜法兰环           11、钼皮坩埚（旋压坩埚）

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